Wil je zeker zijn dat je cadeautjes op tijd onder de kerstboom liggen? Onze winkels ontvangen jou met open armen. Nu met extra openingsuren op zondag!
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • Gratis thuislevering in België vanaf € 30
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten
Wil je zeker zijn dat je cadeautjes op tijd onder de kerstboom liggen? Onze winkels ontvangen jou met open armen. Nu met extra openingsuren op zondag!
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • Gratis thuislevering in België vanaf € 30
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten

The Physics of Submicron Lithography

Kamil A Valiev
Hardcover | Engels | Microdevices
€ 279,45
+ 558 punten
Uitvoering
Levering 1 à 2 weken
Eenvoudig bestellen
Veilig betalen
Gratis thuislevering vanaf € 30 (via bpost)
Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

This book is devoted to the physics of electron-beam, ion-beam, optical, and x-ray lithography. The need for this book results from the following considerations. The astonishing achievements in microelectronics are in large part connected with successfully applying the relatively new technology of processing (changing the prop- erties of) a material into a device whose component dimensions are submicron, called photolithography. In this method the device is imaged as a pattern on a metal film that has been deposited onto a transparent substrate and by means of a broad stream of light is transferred to a semiconductor wafer within which the physical structure of the devices and the integrated circuit connections are formed layer by layer. The smallest dimensions of the device components are limited by the diffraction of the light when the pattern is transferred and are approximately the same as the wavelength of the light. Photolithography by light having a wavelength of A 0.4 flm has made it possible to serially produce integrated circuits having devices whose minimal size is 2-3 flm in the 4 pattern and having 10-105 transistors per circuit.

Specificaties

Betrokkenen

Auteur(s):
Uitgeverij:

Inhoud

Aantal bladzijden:
493
Taal:
Engels
Reeks:

Eigenschappen

Productcode (EAN):
9780306435782
Verschijningsdatum:
31/03/1992
Uitvoering:
Hardcover
Formaat:
Genaaid
Afmetingen:
178 mm x 254 mm
Gewicht:
1093 g
Standaard Boekhandel

Alleen bij Standaard Boekhandel

+ 558 punten op je klantenkaart van Standaard Boekhandel
E-BOOK ACTIE

Tot meer dan 50% korting

op een selectie e-books
E-BOOK ACTIE
E-book kortingen
Standaard Boekhandel

Beoordelingen

We publiceren alleen reviews die voldoen aan de voorwaarden voor reviews. Bekijk onze voorwaarden voor reviews.