Wil je zeker zijn dat je cadeautjes op tijd onder de kerstboom liggen? Onze winkels ontvangen jou met open armen. Nu met extra openingsuren op zondag!
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • Gratis thuislevering in België vanaf € 30
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten
Wil je zeker zijn dat je cadeautjes op tijd onder de kerstboom liggen? Onze winkels ontvangen jou met open armen. Nu met extra openingsuren op zondag!
  • Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
  • Gratis thuislevering in België vanaf € 30
  • Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Scanning Probe Lithography

Hyongsok T Soh, Kathryn Wilder Guarini, Calvin F Quate
Hardcover | Engels | Microsystems | nr. 7
€ 181,95
+ 363 punten
Uitvoering
Levering 1 à 2 weken
Eenvoudig bestellen
Veilig betalen
Gratis thuislevering vanaf € 30 (via bpost)
Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

Scanning Probe Lithography (SPL) describes recent advances in the field of scanning probe lithography, a high resolution patterning technique that uses a sharp tip in close proximity to a sample to pattern nanometer-scale features on the sample. SPL is capable of patterning sub-30nm features with nanometer-scale alignment registration. It is a relatively simple, inexpensive, reliable method for patterning nanometer-scale features on various substrates. It has potential applications for nanometer-scale research, for maskless semiconductor lithography, and for photomask patterning.
The authors of this book have been key players in this exciting new field. Calvin Quate has been involved since the beginning in the early 1980s and leads the research time that is regarded as the foremost group in this field. Hyongsok Tom Soh and Kathryn Wilder Guarini have been the members of this group who, in the last few years, have brought about remarkable series of advances in SPM lithography. Some of these advances have been in the control of the tip which has allowed the scanning speed to be increased from mum/second to mm/second. Both non-contact and in-contact writing have been demonstrated as has controlled writing of sub-100 nm lines over large steps on the substrate surface. The engineering of a custom-designed MOSFET built into each microcantilever for individual current control is another notable achievement. Micromachined arrays of probes each with individual control have been demonstrated. One of the most intriguing new aspects is the use of directly-grown carbon nanotubes as robust, high-resolution emitters.
In this book the authors concisely and authoritatively describe the historical context, the relevant inventions, and the prospects for eventual manufacturing use of this exciting new technology.

Specificaties

Betrokkenen

Auteur(s):
Uitgeverij:

Inhoud

Aantal bladzijden:
197
Taal:
Engels
Reeks:
Reeksnummer:
nr. 7

Eigenschappen

Productcode (EAN):
9780792373612
Verschijningsdatum:
30/06/2001
Uitvoering:
Hardcover
Formaat:
Genaaid
Afmetingen:
156 mm x 234 mm
Gewicht:
498 g
Standaard Boekhandel

Alleen bij Standaard Boekhandel

+ 363 punten op je klantenkaart van Standaard Boekhandel
E-BOOK ACTIE

Tot meer dan 50% korting

op een selectie e-books
E-BOOK ACTIE
E-book kortingen
Standaard Boekhandel

Beoordelingen

We publiceren alleen reviews die voldoen aan de voorwaarden voor reviews. Bekijk onze voorwaarden voor reviews.