Bedankt voor het vertrouwen het afgelopen jaar! Om jou te bedanken bieden we GRATIS verzending (in België) aan op alles gedurende de hele maand januari.

Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
Gratis thuislevering in België
Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Bedankt voor het vertrouwen het afgelopen jaar! Om jou te bedanken bieden we GRATIS verzending (in België) aan op alles gedurende de hele maand januari.

Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
Gratis thuislevering in België
Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Winkels

Verlanglijstje

Winkels

Verlanglijstje

Zoeken

Volg ons op

Wist je dat er in Vlaanderen voor iedereen een Standaard Boekhandel is binnen een straal van 7 km?

Zoek een winkel

€ 230,95

+ 461 punten

Levering 2 à 3 weken

Eenvoudig bestellen

Veilig betalen

In januari gratis thuislevering in België (via bpost)

Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

Plasma processing is a central technique in the fabrication of semiconductor devices. This self-contained book provides an up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication. It presents the basic physics and chemistry of these processes, and shows how they can be accurately modeled. The author begins with an overview of plasma reactors and discusses the various models for understanding plasma processes. He then covers plasma chemistry, addressing the effects of different chemicals on the features being etched. Having presented the relevant background material, he then describes in detail the modeling of complex plasma systems, with reference to experimental results. The book closes with a useful glossary of technical terms. No prior knowledge of plasma physics is assumed in the book. It contains many homework exercises and serves as an ideal introduction to plasma processing and technology for graduate students of electrical engineering and materials science. It will also be a useful reference for practicing engineers in the semiconductor industry.