- Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
- Gratis thuislevering in België vanaf € 30
- Ruim aanbod met 7 miljoen producten
- Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
- Gratis thuislevering in België vanaf € 30
- Ruim aanbod met 7 miljoen producten
Omschrijving
Publisher's Note: Products purchased from Third Party sellers are not guaranteed by the publisher for quality, authenticity, or access to any online entitlements included with the product.
Master Extreme Ultraviolet Lithography Techniques
Produce high-density, ultrafast microchips using the latest EUVL methods. Written by industry experts, Extreme Ultraviolet Lithography details the equipment, materials, and procedures required to radically extend fabrication capabilities to wavelengths of 32 nanometers and below. Work with masks and resists, configure high-reflectivity mirrors, overcome power and thermal challenges, enhance resolution, and minimize wasted energy. You will also learn how to use Mo/Si deposition technology, fine-tune performance, and optimize cost of ownership.
- Design EUVL-ready photomasks, resist layers, and source-collector modules
- Assemble optical components, mirrors, microsteppers, and scanners
- Harness laser-produced and discharge pulse plasma sources
- Enhance resolution using proximity correction and phase-shift
- Generate modified illumination using holographic elements
- Measure critical dimensions using metrology and scatterometry
- Deploy stable Mo/Si coatings and high-sensitivity multilayers
- Handle mask defects, layer imperfections, and thermal instabilities
Specificaties
Betrokkenen
- Auteur(s):
- Uitgeverij:
Inhoud
- Aantal bladzijden:
- 482
- Taal:
- Engels
Eigenschappen
- Productcode (EAN):
- 9780071549189
- Verschijningsdatum:
- 1/05/2009
- Uitvoering:
- Hardcover
- Formaat:
- Ongenaaid / garenloos gebonden
- Afmetingen:
- 155 mm x 231 mm
- Gewicht:
- 757 g
Alleen bij Standaard Boekhandel
+ 345 punten op je klantenkaart van Standaard Boekhandel
WEDSTRIJD
E-BOOK ACTIE
Beoordelingen
We publiceren alleen reviews die voldoen aan de voorwaarden voor reviews. Bekijk onze voorwaarden voor reviews.