Bedankt voor het vertrouwen het afgelopen jaar! Om jou te bedanken bieden we GRATIS verzending aan op alles gedurende de hele maand januari.

Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
Gratis thuislevering in België
Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Bedankt voor het vertrouwen het afgelopen jaar! Om jou te bedanken bieden we GRATIS verzending aan op alles gedurende de hele maand januari.

Afhalen na 1 uur in een winkel met voorraad
Gratis thuislevering in België
Ruim aanbod met 7 miljoen producten

Winkels

Verlanglijstje

Winkels

Verlanglijstje

Zoeken

Volg ons op

Wist je dat er in Vlaanderen voor iedereen een Standaard Boekhandel is binnen een straal van 7 km?

Zoek een winkel

€ 58,45

+ 116 punten

Levertermijn 1 à 4 weken

Eenvoudig bestellen

Veilig betalen

In januari gratis thuislevering in België (via bpost)

Gratis levering in je Standaard Boekhandel

Omschrijving

Dünne Filme aus mesoporösem Siliziumdioxid (MPS) sind attraktiv für die Anwendung als niedrig-κ-Zwischenschichtdielektrikum (ILD) in integrierten Schaltungen. Allerdings sind diese Filme anfällig für Instabilitäten im elektrischen Verhalten aufgrund von Wasseraufnahme und Kupferdiffusion. In dieser Arbeit werden die elektrischen, chemischen und thermischen Instabilitäten, die Cu-Diffusion und die Adhäsion dieser Materialien diskutiert, um ihre Verwendung als zukünftige ILD in Bauelementen zu bewerten und zu ermöglichen. Die thermische Stabilität der funktionellen Gruppen und die Adhäsion dieser Filme mit Cu sind ebenfalls Schlüsselfragen für die Integration dieser Dielektrika in reale Geräte. Wir versuchen hier, diese Fragen für einige wenige Arten von funktionalen MPS-Filmen zu beantworten. Die Porenstruktur ist ein weiterer Schlüsselparameter bei der Definition der mechanischen und elektrischen Leistung von MPS-Filmen. In dieser Arbeit haben wir für die meisten Studien MPS-Filme mit 3D-kubischen Poren verwendet. Unterschiede in den Eigenschaften von MPS-Filmen mit parallel zum Substrat orientierten Poren (2D-hexagonal) und MPS-Filmen mit kubisch geformten Poren (3D-kubisch) werden gegen Ende diskutiert. Zusammenfassend zeigt diese Arbeit Wege auf, die elektrischen und mechanischen Eigenschaften von MPS-Low-κ-Dielektrika für zukünftige Anwendungen maßzuschneidern.